本站音尘，左证天眼查APP数据知晓华海清科（688120）新获取一项发明专利授权，专利名为“用于电涡流传感器的标定要害、测量要害、装配及开发”，专利央求号为CN202411612206.X，授权日为2025年3月14日。
专利纲领：本央求提供了一种用于电涡流传感器的标定要害、厚度测量要害、装配及化学机械抛光开发，该要害包括：在对晶圆进行化学机械抛光前，获取电涡流传感器的信号源产生的第一引发信号；在对晶圆进行化学机械抛光的经过中，获取电涡流传感器的信号源产生的第二引发信号，并获取电涡流传感器集聚到的晶圆信号；左证第一引发信号和第二引发信号，对晶圆信号进行修正，得到修正后晶圆信号；竖立左证修正后晶圆信号详情的标定信息与事先详情的晶圆厚度之间的映射相关，以对电涡流传感器进行标定。本决策普及了通过电涡流传感器测量得到的金属薄膜厚度的准确性。
本年以来华海清科新获取专利授权17个，较昨年同时加多了54.55%。纠合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面进入了1.71亿元，同比增23.19%。
数据来源：天眼查APP
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